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超純水設備是反滲透設備跟離子交換混床或EDI相結合配套使用,離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的,可去除水中的陰陽離子,是目前制造高純水工藝流程中不可替代的手段。
工藝流程:原水箱→原水泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→保安過濾器→一級反滲透→二級反滲透→純水箱→純水泵→TOC分解器→脫氣膜→保安過濾器→EDI裝置→純水箱→純水泵→拋光混床→膜過濾器→生產線用水點
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